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  • 微納電路顯影機(jī)uDPM200 產(chǎn)品型號(hào):uDPM200
    微納電路顯影機(jī)
詳細(xì)內(nèi)容

1、適用晶圓尺寸:8吋及以下;

2、轉(zhuǎn)速分辨率:±1RPM;

3、旋轉(zhuǎn)速度:20 rpm ~ 2000rpm(空載) ;

4、旋轉(zhuǎn)加速度:20 rpm ~ 8000rpm(空載)

5、顯影時(shí)間設(shè)定:0 ~ 300s

6、時(shí)間設(shè)置精度:0.1s;

73路管路:1路顯影液,1路純水,1路氮?dú)猓?/span>

8、工藝選擇:?jiǎn)尾焦に?/span>/多步工藝可選,內(nèi)置50組可編輯程序;

9、電源:220VAC /50Hz,200W

10、機(jī)器外形尺寸:W523mm× L450mm×H320mm。

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